經過幾十年的發(fā)展，在線質譜儀的技術和性能不斷提高，得到了廣泛的應用。它已發(fā)展成為主流的常規(guī)分析和測試儀器。在線質譜儀以離子源、質量分析儀和離子檢測器為核心。根據應用范圍可分為同位素質譜儀、無機質譜儀和有機質譜儀；根據分辨能力可分為高分辨、中分辨和低分辨質譜儀；根據工作原理分為靜態(tài)儀表和動態(tài)儀表。